机器人：目前公司【sī】已成功研【yán】发多款新型双【shuāng】臂真空机械手，部【bù】分产【chǎn】品已进入客【kè】户端验证阶段，预计【jì】未来将成为公【gōng】司半导体业务新的【de】增长【zhǎng】点【diǎn】

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同花顺（300033）金融【róng】研【yán】究中心9-22讯，有投【tóu】资者向【xiàng】机器【qì】人【rén】（300024）提问， 董秘，您好！请问贵公司有半导体【tǐ】设【shè】备的订单？请回【huí】复，谢谢。

公司回答表示，您好【hǎo】，公【gōng】司半【bàn】导体【tǐ】装【zhuāng】备【bèi】业务产品主要为【wéi】自主研发【fā】的【de】真空【kōng】机械【xiè】手【shǒu】及集束型设备，包括：大气机械手、真空机械【xiè】手等系列产品、EFEM、真空传【chuán】输平台，主要【yào】应用在刻蚀、CVD、PVD、CMP、Descum、立式炉等工艺【yì】环节及领域，服务的下游行【háng】业是【shì】半【bàn】导体工艺设【shè】备厂【chǎng】商。2022年度，公司半导体【tǐ】设备产业【yè】化应【yīng】用初具规模，广泛服务【wù】于【yú】硅片生产、晶圆加工、先进封装【zhuāng】及封装测试【shì】等半【bàn】导体制造全产业链，为【wéi】客户产业链【liàn】及供应链安全的稳定提供多元保障【zhàng】，品【pǐn】牌效【xiào】应显现。真空机【jī】械手【shǒu】方面，两轴真空【kōng】直驱机械手产品，已实【shí】现小批量【liàng】、多批次应用【yòng】在客户端，公司目【mù】前已完成13种两【liǎng】轴真空直驱机械手平【píng】台【tái】的研【yán】发【fā】。三【sān】轴【zhóu】真【zhēn】空直驱机械【xiè】手产品【pǐn】，处于客户端验证阶段，其结【jié】合全新控制器软硬【yìng】件平【píng】台的【de】应用，可支撑【chēng】下游客户的长【zhǎng】期应用。四轴真空直驱机械手产【chǎn】品处于研发【fā】阶段。目前，公司【sī】已成功研发【fā】多款新型双臂真空机械手，部分产品已进入【rù】客户端【duān】验【yàn】证阶段，预计【jì】未来【lái】将成为公司半导体业务新的增长点。2022年度，公司半导体装备业务实现收入2.44亿元。公司半导体装备业务的具体【tǐ】情【qíng】况，请您查阅公司《2022年年【nián】度【dù】报告》。